0100-71275 | Модуль управления питанием

Описание продукта

AMAT 0100-71275 — это высокоточный модуль управления питанием производства Applied Materials, разработанный для критически важных систем в полупроводниковой промышленности. Этот компонент серии Centura® играет ключевую роль в обеспечении стабильного электропитания плазменных реакторов CVD/PVD, гарантируя точное регулирование параметров в процессе нанесения тонких пленок. AMAT 0100-71275 интегрируется с системой управления оборудованием через стандартный интерфейс RS-485, обеспечивая мониторинг напряжения, тока и температурных параметров в режиме реального времени.

Особенностью AMAT 0100-71275 является его модульная конструкция с горячей заменой, что минимизирует время простоя производственных линий. Устройство соответствует стандартам SEMI F47-0706 по устойчивости к перепадам напряжения и обладает улучшенной системой охлаждения с интеллектуальным управлением вентиляторами. В сочетании с фирменным программным обеспечением AMAT SmartPower Suite, этот модуль обеспечивает прецизионное управление энергопотреблением с точностью до 0.1% от номинального значения.

Технические характеристики

Основные преимущества

AMAT 0100-71275 отличается революционной системой динамической компенсации нагрузки, которая автоматически адаптируется к изменениям в технологическом процессе. Модуль оснащен:

• Двойной системой резервирования питания
• Встроенной диагностикой предотказовых состояний
• Цифровыми фильтрами EMI/RFI
• Функцией «горячей замены» без остановки системы

Уникальная система теплового управления с переменной скоростью вентиляторов позволяет снизить энергопотребление на 15% по сравнению с аналогами. AMAT 0100-71275 поддерживает автоматическую калибровку через интерфейс обслуживания, сокращая время технического обслуживания на 40%.

Области применения

AMAT 0100-71275 преимущественно используется в:

• Полупроводниковом производстве (CVD, PVD, Etch)
• Системах вакуумного напыления
• Плазменных технологических установках
• Высокоточных измерительных комплексах

Модуль особенно востребован в производствах класса cleanroom, где требуется соблюдение стандартов ISO Class 3-5. Его применяют в технологических линиях по выпуску 300-мм кремниевых пластин.

Связанные продукты

• AMAT 0100-71276 — Модернизированная версия с повышенной нагрузочной способностью
• AMAT 0200-80421 — Интерфейсный модуль для интеграции с SCADA
• AMAT 0050-33109 — Блок распределения питания
• AMAT 0300-91550 — Система мониторинга энергопотребления
• AMAT 0100-71275-EX — Взрывозащищенная версия для опасных сред