ZMI-4004 — это карта высоточечного измерения сдвига, представленная компанией ZYGO, принадлежащая серии ZMI, разработанная специально для измерения смещения с высокой точностью и расстояния. Вот детали его продукции:
Характеристика продукции
Многоаксиальное измерение: ZMI-4004 — четырёхмерная измерительная карта, способная измерять смещение с высокой точностью в четырёх измерениях одновременно.
Высокая точность и высокое разрешение: разрешение положения до 0,15 нм, точность измерения на максимальной скорости (сигма) составляет 0,2 нм.
Высокоскоростное измерение: максимальная скорость измерения может достигать 0,2 м/с.
Сильная совместимость: поддержка стандарта VME64x, модулируемая интеграция в существующие системы.
Компенсация циклической погрешности: с функцией компенсации циклической ошибки, которая автоматически устраняет нелинейную погрешность, присущую системе, и далее повышает точность измерения.
Параметр продукции
Четыре оси.
Тип карты: 6U VME64x.
Наименьш свет мощност: 1.0 µ W.
Разрешение положения: 0.15 нм.
Максимальная скорость: минус 2,55 м/с.
Точность при максимальной скорости: 0,2 нм.
Совместимые лазеры: 7702, 7714 и 7724.
Skip to content
Skip to footer