AX7695PSK-01 | AX7695PSK | Удаленный плазменный источник

Description

♠-спецификац:AX7695PSK-01 | AX7695PSK | Удаленный плазменный источник

Ax76695psk -01 — плазменный источник, производимый компанией MKS Instruments (Remote Plasma Source), принадлежащий R*evolution III, предназначенный для обработки полупроводниковых кристаллов. Вот подробная информация о продукте:
Обзор продукции
Ax76995psk -01 — интегрированный источник плазмы дальнего действия, разработанный специально для обработки кристаллических кружков в полупроводниках. Он интегрирует кварцевую вакуумную камеру, радиочастотную энергию и все необходимые функции управления в компактную, независимую единицу, которая позволяет установить непосредственно в обрабатывающую камеру.
Плазма высокой чистоты: обеспеченная атомными свободными радикалами высокой чистоты, применима к реакции кристаллической окружности.
Интегральный дизайн: компактный дизайн единицы, облегченный для установки и обслуживания.
Высокая надежность: применение в условиях высокого вакуума для обеспечения долгосрочного стабильного функционирования.
Гибкая конфигурация: поддерживает несколько комбинаций газа и конфигурации потока, удовлетворяя различные технологические потребности.
Точный контроль: обеспечение контроля мощности и трафика с высокой точностью, обеспечение технологической совместимости.

♠-Входной спецификация:

Плазмен тип: распространя на кислород (о сна), аргон (Ar) ил сна 90% кислород / 10% N сна гибридн газ.
Расход газа: до 6,0 см (стандартный литр/минуту).
Рабочее давление: 0.5-2.0 Torr.
Выходная мощность: до 6 КВТ.
Плазмен плотност: > 10 ² cm ⁻ ³.
Однородность плазмы: <5%.
Требования питания: 180-228 VAC, 50/60 Hz, 30A, 3 фазы.
Требован охлажда вод: 175 GPM (галлон/минут), температур вод < 30 ° C.
Размер: 15,7 «x» 13,7 «x» 12,14 «(399 мм).
Вес: 85 lb (38,6 кг).
Температур работ: верховн 40 ° C.
Интерфейс управления: дискретные соединители ввода/вывода, 9 и 25 швов D, RS-232, DeviceNet и ethernet (поддержка MKS TOOLweb).

♠-Прикладная область：AX7695PSK-01 | AX7695PSK | Удаленный плазменный источник

Производство полупроводников: используется для очистки округлых кристаллов, отложения тонких пленок, абляции и т.д.
Производство микроэлектронных приборов: изготовление различных микроэлектронных устройств.
Фотоэлектрическое производство: изготовление для солнечных батарей.
Производство мониторов: для создания жидких кристаллических дисплеев и мониторов оледа.

♠-Добро пожаловать на экскурсию.

♠-Обычная модель.

Внешние порты Tricon 4000093-110n вводят кабельные компоненты
Модуль связи трикон 8310N2
Модуль связи трикон 3501TN2
Модуль связи трикон 4352AN
Вихревой датчик вихревого конвертера PR6423/008-110+CON041
PR6423/00R-010+CON031 вихревой датчик epro GmbH
Контроллер 57 системы хонивел
T8850 заслуживает доверия как 40 — канальная симуляция, так и цифровой выход универсальной схемы FTA 3
T8830 заслуживает доверия 40 — канальная симуляция ввода FTA в трёхканальную схему
MSPC-6886/6800 PCI/ISA одноплатный компьютер MSPC
FCS01.1E- 0011-A-04-NNBV R911311065, преобразователь частоты, который управляет lex
* H32ncha-lnn-n -n -n -00 — ступенчатый электродвигатель коул Морган
Контроллер 57 системы хонивел
VMIVME-7740-840-350- 077740 -840- 840-M монолит основан на VMEbus SBC, процессоре pentium III
CP450/C сервопривод KEBA
Имитационный передатчик MTL831C
Ультразвуковой преобразователь LST200 ABB
VME-U10/B 381-641697-5 сеточный привод тель
TVB-1202-1/ANET 1381- 6477980 -12 сеточный привод тель
TVB6002-1/IMC 1308- 6444857-12121381 -644857-16 — сеточный привод тель
CLS208 компактная система, обеспечивающая сильный контроль в 1/8 DIN инкорполяции WATLOW ANAFAZE